真空鍍（dù）膜係統主要構成（chéng）部分一

真空室。

塗布設備主要包括連續塗布生產線和單室塗布機兩（liǎng）種（zhǒng）形式。表麵進行不鏽鋼材（cái）料製（zhì）造、氬弧焊和化學拋光處理。各種規格的法蘭接口焊（hàn）接在真（zhēn）空室組件上。

2.真空獲得部分。

在真空（kōng）技術（shù）中，真空獲得部分是一個重要的（de）部（bù）分。真空不是一個真（zhēn）空設備和方法可以（yǐ）達到的，必須同時使用幾個泵，如機械泵、羅茨泵和分子泵係統。

3.真空測量部分。

真空係統的真空測量（liàng）部（bù）分是測量真空室中（zhōng）的壓力。像真空泵一樣，沒有真（zhēn）空計可以測量整個真空範圍，所以人們根據不同的原理和要求製作（zuò）了多種真空計。如熱電偶表、電離表、皮拉尼表等。

4.電源（yuán）部分。

目標電源主要包括DC電源、中頻電源、脈衝電源和射頻電源。常見的電源廠商有AE、ADL、Hottinger等。

5.工藝氣體輸入（rù）係（xì）統。

工藝氣體（tǐ），如（rú）氬(氬)、氪(氪)、氮(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫(H2)、氧(O2)等。通常由氣瓶供應（yīng），穿過（guò）氣體減壓閥、氣體截止閥、管（guǎn）道（dào）、氣體流量計、電磁閥和壓電閥，然後進入真空室（shì）。這種輸氣係統的優點（diǎn）是（shì）管道簡單明了，容（róng）易維修或更換氣瓶。塗布機互（hù）不影響。也有多台塗布機共用一套氣（qì）瓶（píng）的情況，在一些大型塗布車間可能會看到。其優點是可以減少氣瓶的消耗，統一規劃布局。缺（quē）點是接頭（tóu）數（shù）量增（zēng）加了漏氣（qì）的幾率。而且塗布機之間會相互幹擾，一台塗布機的管道（dào）會（huì）發生泄漏，可能會影響其（qí）他塗布機的產品質量。此外，更（gèng）換氣瓶時，必須確（què）保所有機器都處於非（fēi）使用狀態。