蒸發真空鍍膜機（jī）技（jì）術要求

蒸發真空鍍膜機技術要求

構造要求

1.設備結構布局合理，外（wài）形美觀，操作方便，維護方便（biàn）。

2.設備中靜動密封的結構（gòu）形式和尺寸應符合GB/T6070和JB/T1090~1092的（de）要求。

3.在低真空、高真空管道和塗層室安裝真空管道，分別測（cè）量各部分的壓力。

4.如果設備的真空單元（yuán）以（yǐ）擴散泵為主泵，則應在（zài）擴散泵的進氣口安裝擋板或（huò）冷阱。

5.塗層室應有觀察窗。對於塗（tú）層過程（chéng）中（zhōng）發（fā）生輻射的（de）設備，觀（guān）察窗應安裝防（fáng）輻射鏡片。

6.帶工（gōng）件烘烤（kǎo）裝置的設備應有溫度測量電極或溫度測（cè）量裝置。

7.工件架旋（xuán）轉機構的轉速應符（fú）合產品設計要求。

8.配有離子轟擊裝（zhuāng）置或寬束低能離（lí）子源裝置的設備應（yīng）能在產品設計要求的參數範圍內正常連續穩（wěn）定工作30分鍾以上。

9.鎢（wū）絲作為蒸發熱源的加熱器應（yīng）能使蒸鍍材料正常蒸發，蒸發過程中加熱器的（de）幾何形狀不應影響正常蒸發。

10.設備蒸發源的工作條件（jiàn）應穩定，易於（yú）調節和控製。各種蒸發源(如電阻蒸發源、電子束蒸（zhēng）發源、離子束蒸發源、激光蒸發源、感應蒸（zhēng）發源等。)的技術要求應符合相應的產品標準。

設備采用低電壓、大電流電阻蒸發源時，各蒸發源加熱（rè）器應（yīng）處於4V~20V電壓、50A~180A電流狀態。

生產要求

1.設備零件的機械加工質量和焊接（jiē）零件的質量和組裝質量應符合製造商的技術文件要求（qiú）。

2.設備鍍膜室內（nèi）表麵及各密封麵的粗糙度Ra值不得大於1.6um，並對工作時處於真空狀態的（de）各個表麵進行有效的真空清洗處理，並進行幹燥。各（gè）旋轉部件、升降機構等動作應靈活（huó），不得有卡、滯、鬆、抖、異響等現象，需要使用潤滑脂的動密封部位應適量真空油。

3.設備主要（yào）部件的材（cái）料應符合相應的材料標準。

4.配套設備的電（diàn）氣設備質量應符合製造（zào）商的技術文件要求，設（shè）備運行安全可靠。

5.設備的外觀（guān）質量應無非功能性要（yào）求的尖角、棱角、凸起和粗糙不平整的表麵。零件結合（hé）麵邊緣應整齊均勻，無明顯偏差。金（jīn）屬零件的塗（tú）層應牢固，無脫落、生鏽（xiù）等現象，所有固體零件應有防鏽層。設備的塗裝表麵應光滑、美觀、牢固、無脫落、剝落。

6.設備（bèi）中（zhōng）外購買的（de）配套產品應符合相應的產（chǎn）品標（biāo）準，並有質量證書。設備中自製的配套產品隻能在製（zhì）造商檢（jiǎn）驗（yàn）部門檢驗合格後使用（yòng）。

7.設（shè）備中的各種蒸發源、輔助（zhù）離子源（yuán）和離子轟擊、工件旋（xuán）轉、工件烘烤、工件偏壓、薄膜（mó）厚度監測等設備。應逐一調（diào）試和聯合調試，其性能應符（fú）合設計（jì）要求，運行可靠。當工件加熱到額定溫度時，真空室（shì）外表麵溫（wēn）度不（bú）應高於45度，設備運動部件應（yīng）正常工作。