真空鍍膜機的工（gōng）作原理和結構

介紹了真空鍍膜機的工作原理和結（jié）構。真空鍍膜機（jī）是真空製造（zào）中應用最廣泛的設備。其組成及部（bù）件：機械泵、增壓泵、油分散泵、凝結水泵、真空測量係統

真空鍍膜機的原理真空鍍膜機主要是指一種（zhǒng）需要在高真空下進行的鍍（dù）膜，包括真空離子（zǐ）蒸發、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等多種。其主要思（sī）想分為蒸發和濺射。

真（zhēn）空鍍膜機（jī）部（bù）件

1、 真空（kōng）的主體（tǐ）是真空室。根據加工品的不同（tóng）要求，真腔的（de）大小也不（bú）同。目前最常用的是直徑（jìng）1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。箱體采用不鏽（xiù）鋼材（cái）料，要求不生鏽、堅固。真空室（shì）的（de）每個（gè）部（bù）分都有一個連（lián）接閥，用於連接泵。

2、 排氣係統由“分散泵+機（jī）械泵+羅茨泵（bèng）+低溫冷阱+聚合物”組成（chéng）。排氣流程如下：機械泵首先將真空室抽至小於（yú）2.0*10-2Pa的（de）低真（zhēn）空狀態，這（zhè）是分散（sàn）泵隨後抽真空的供給條件。分散泵抽真空室時，機械泵與油分散泵串聯，這樣抽真空（kōng）。

排氣係統是（shì）塗布機真空係統的重要組成部分，主（zhǔ）要由機械泵、增壓泵（bèng）（主要（yào）介紹羅茨泵）和油（yóu）分散泵組成。

機械泵：又稱前（qián）置泵，機械泵是應用最為廣泛的低真空泵，它（tā）是利用油的（de）附著密封作用，依靠機械的方（fāng）法不斷改變泵（bèng）內吸入腔的容積，使泵內氣體（tǐ）的容積不斷（duàn）膨脹，進而獲得真空。

機（jī）械（xiè）泵有很多種，常用的有滑閥式（這主要用於大型設備）、活塞（sāi）往複式、固定板式和旋轉板式（這是目前應（yīng）用最廣泛的，本文主要介紹）四種類型（xíng）。

機械泵常用於去除幹燥空氣，但不能去除高含氧量、爆炸性和腐蝕性氣體（tǐ）。機械泵通常用（yòng）於去（qù）除持續性氣體，但對水蒸氣的去除效果不好，不能去除（chú）水蒸氣。旋（xuán）葉泵最有效的部（bù）件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子內部，但與定子不同。主軸像（xiàng）兩個內接圓。轉子槽內裝（zhuāng）有（yǒu）兩片彈（dàn）片，兩片彈片中心裝有拉簧，保證彈片與定（dìng）子內壁緊密貼合。

真空鍍膜機（jī）的原理及組成分析真空鍍膜機是真空條件下（xià）應（yīng）用最廣泛的真空設備（bèi）。一般由真空室（shì）、真空單元和電氣控製櫃（guì）組成。排氣係統由“擴散（sàn）泵+機械泵+羅茨（cí）泵+低溫（wēn）冷阱+保冷（lěng）器”組成。17c.c-起草口公司是（shì）一家（jiā）專業從（cóng）事研發（fā）的公司；研發生產真空鍍膜（mó）設備，擁有經驗豐富的技術團（tuán）隊和高素質的售後服務（wù）團（tuán）隊，解決設備使用（yòng）中遇到（dào）的任何問題（tí）。其次，詳細介紹了真空鍍膜（mó）機的組成和工作原理（lǐ）。

1、 真空鍍（dù）膜機真（zhēn）空腔的真（zhēn）空體根據加工產品的要求不同，真實腔的尺寸也不同。目前（qián）應用最廣泛的是直徑1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。型腔采用（yòng）不鏽鋼，要求（qiú）不生鏽，堅（jiān）固。真（zhēn）空腔的每個部（bù）分都有一個連接（jiē）閥，用於連（lián）接泵。

2、 輔助（zhù）抽氣係（xì）統：排氣係統是真空鍍膜機真空（kōng）係統的重（chóng）要組成部分，主要由機械（xiè）泵（bèng）、增壓泵（bèng）（主（zhǔ）要介紹羅茨泵）和油擴散泵組成。排氣係統由“擴散泵（bèng）+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+聚晶”組（zǔ）成。排氣過程如下：機械泵首先將真空室抽至小於2.0*10-2Pa的低真空狀態，為（wéi）擴散泵（bèng）的後續抽（chōu）真空提供前提。然後（hòu），擴散泵抽真空室時，機械泵與油擴（kuò）散泵串聯，從（cóng）而完成抽真空動（dòng）作。

機械泵：又稱前置泵（bèng），是機械泵中應（yīng）用最廣泛（fàn）的低真空泵。它用機（jī）油（yóu）來保養