真空(kōng)鍍膜是一種需要在較高真空度下進行的鍍膜,包括(kuò)真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺(jiàn)射沉(chén)積(jī)等(děng)。在真空鍍膜的過程中,磁(cí)控管濺(jiàn)射靶會在發射過程中產生高溫,這會使彈丸變形,因此它有一個水套(tào)來冷卻彈丸。為了確(què)保水(shuǐ)套中的水(shuǐ)溫不受環(huán)境和自(zì)然溫度(dù)的影響,通(tōng)常必須使用冷卻器來冷卻真空鍍膜機。
真空鍍膜設備在真空條件下成膜有很(hěn)多優(yōu)點(diǎn):它可以減少蒸發材料中的(de)原子與分子之間的碰撞(zhuàng)以及在飛向基材過程中的分子,減少活性物質之間的(de)化學反應(例如氧化等)氣體和蒸發源材料中的分子,並減少在成膜過程中作為雜(zá)質進入膜的氣體分(fèn)子的量,並且硬件(jiàn)真空鍍膜可以提供膜的密度,純度(dù),沉積速(sù)率和(hé)對基材的附著力。通常,真空蒸發需(xū)要成膜室中的壓(yā)力等於或低於10-2Pa。對於蒸發(fā)源遠離基材且膜質量非(fēi)常高的場合,要(yào)求壓力較低。
鍍在(zài)濺射(shè)塗層中的激光濺射塗層(céng)易於保持組成的均勻性,但是原子尺度的厚度(dù)均勻性相對較差(因(yīn)為(wéi)是脈衝濺射),並且對晶體取向(外緣)生長的(de)控製比較一(yī)般。有關真(zhēn)空(kōng)鍍膜機操(cāo)作步驟的具體操作,請參閱(yuè)設備手冊和設備儀表板上的指(zhǐ)針顯示以及每個(gè)旋鈕下方的說明。檢查真空鍍膜機的操作控製開關是(shì)否處(chù)於“關(guān)閉”位置(zhì)。從我國現有的塗料(liào)生產線來看,主要問題如下:設計水平不高,我(wǒ)國在塗料設備的開發上投入不多(duō),先進,成熟的塗料設備很(hěn)少占領市(shì)場,即使(shǐ)是在國內自(zì)行建造的。對於塗料生產線,該生產線上的(de)一些關(guān)鍵(jiàn)設備也是進口的。我國一些(xiē)基本部件和控製部件的質量不足以承受長期測試。
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