具有不同(tóng)塗層工(gōng)藝的真空塗層機使用不同的自動控製係(xì)統,甚至具有相同塗層工藝的真空塗層機也會由於(yú)控製技術指標的不同而(ér)使用(yòng)不同(tóng)的控製係統。通用鍍(dù)膜(mó)設備(bèi)自動控製係統的基本組成部分是微機,自動控製設備,工業自(zì)動化儀表,壓(yā)力控製器,真(zhēn)空計和一些自動控製組件等,可以實現真(zhēn)空鍍膜設備程(chéng)序的自動控製,切換鍍膜工藝流程,基(jī)本功能,如調整真空工藝參數。
在選擇真空鍍膜機的控製係統時,前提是它能有效滿足真空鍍膜設備及其鍍膜過程的控製要求,注意真空鍍膜設備的各種結構與自動(dòng)控製之間的配合程度。係統(tǒng),並且(qiě)要求自動控製係統具有簡單的結構,經濟(jì)的,不一定是很(hěn)高的自(zì)動化程度,而是要(yào)確保真空鍍膜設備的安全性,可靠性,操作方便和(hé)易於維護。控製係統在選擇自動控(kòng)製設備及(jí)其部件和自動儀表時應合理。
真空(kōng)鍍膜是高溫下薄膜主體的蒸發,使其在工件表麵上結晶。由於空氣將對蒸發(fā)的薄膜分子產生阻力,並引起碰撞,使晶體(tǐ)粗糙而(ér)晦暗,因此必須在高真空下使晶(jīng)體細膩明亮。如果真(zhēn)空度不(bú)高,晶體(tǐ)將失去光澤,並且粘(zhān)合力也非常差。中頻磁控濺射靶利用磁控靶,在電場的作用下加速膜體(tǐ)蒸(zhēng)發分子對靶材料的轟擊,濺射大量靶(bǎ)原子和中性靶(bǎ)原子(zǐ)(或分子)。 )沉積在基板上。膜解決了過去(qù)自然蒸(zhēng)發無法處理的膜品種問題。中頻設備由於其高頻和大電流而必須添加冷卻水(shuǐ)。當電流在導體中流動時,會產生集膚效應,電(diàn)荷會積聚在導體表麵,從而使導體(tǐ)發熱,因此使用中孔管作為(wéi)導體以添加水進行冷卻。
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